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个人信息Personal Information
副教授
招生学科专业：
机械工程 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
性别：男
学位：博士
所在单位：南京航空航天大学
办公地点：明故宫A17-519
电子邮箱：
招生学科专业：
机械工程 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
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（1）晶圆关键尺寸及粗糙度等形貌参数测量
（2）晶圆翘曲、弯曲、裂纹（残余应力）检测
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