张航瑛

个人信息Personal Information

副教授

招生学科专业:
机械工程 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院

性别:男

学位:博士

所在单位:南京航空航天大学

办公地点:明故宫A17-519

电子邮箱:

招生学科专业: 机械工程 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
扫描关注

研究领域

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 研究领域

(1)晶圆关键尺寸及粗糙度等形貌参数测量

图片2.png

(2)晶圆翘曲、弯曲、裂纹(残余应力)检测

图片1.png

(3)光刻机精密工件台纳米定位与角秒姿态校正

无标题zhy.png