房晓龙
开通时间:..
最后更新时间:..
点击次数:
所属单位:机电学院
发表刊物:电加工与模具
关键字:铝箔;微细加工;电解加工;微缝结构;
摘要:铝由于其低密度和良好的导电导热性而被广泛应用于各个领域,其中具有群缝结构的铝微器件在微机电领域有着重要的应用前景,但铝箔的微细加工较困难。针对铝微缝结构的加工,提出一种基于硝酸钠乙二醇溶液的电解切割方法,分析了铝在不同溶剂的硝酸钠溶液中极化曲线的基础上,对电压、频率、占空比三个参数进行了试验研究,最终在铝箔表面加工出了总长2 mm、平均缝宽275.25μm、缝宽标准差6.53μm的"L"形微缝结构,微缝形貌良好且表面无杂散腐蚀。
ISSN号:1009-279X
是否译文:否
发表时间:2019-10-20
合写作者:朱嘉澄,高兵,曲宁松
通讯作者:房晓龙