标题：
移动式阴极微槽电化学抛光技术研究
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所属单位：
机电学院
发表刊物：
特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）
关键字：
电化学抛光;移动阴极;仿真;电流密度;微槽;
摘要：
随着微机电系统的发展,金属微结构在医疗器械、汽车、信息、航空航天等领域获得了日益广泛的应用。微结构的表面粗糙度对其耐蚀性、耐磨性、抗疲劳性等性能具有重要影响,是加工质量的重要评估标准之一。电化学抛光是一种非接触式的抛光方法,利用金属的电化学阳极溶解原理,对工件凸起处进行有选择性的材料去除,从而达到整平工件表面的目的。该方法具有无塑性变形层、无残余应力、不受材料强度和硬度限制、可达性好等优点,适用于
是否译文：
否
发表时间：
2017-11-17
合写作者：
于娟,朱荻
通讯作者：
曾永彬
发表时间：
2017-11-17
学位：工学博士学位
职称：教授
所在单位：机电学院