李玉芳
开通时间:..
最后更新时间:..
点击次数:
所属单位:南京航空航天大学
发表刊物:Materials Science in Semiconductor Processing
论文类型:期刊论文
学科门类:工学
文献类型:J
卷号:171
页面范围:108027
是否译文:否
发表时间:2024-05-05
收录刊物:EI、SCI
合写作者:Honglie Shen, Long Wang, Hechao Li, Zhihong Xie, Andi Chen, Zheng Shi, Wei Wang
通讯作者:Yufang Li