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教授 博士生导师
招生学科专业：
机械工程 -- 【招收博士、硕士研究生】 -- 机电学院
航空宇航科学与技术 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收博士、硕士研究生】 -- 机电学院
性别：男
毕业院校：中国科学院理化技术研究所
学历：博士研究生毕业
学位：理学博士学位
所在单位：机电学院
办公地点：机电学院15-353。
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抛光垫磨损非均匀性研究
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所属单位：机电学院
发表刊物：光学技术
关键字：化学机械抛光;抛光垫;磨损;运动轨迹;非均匀性;
摘要：抛光垫是化学机械抛光的重要组成部分,其磨损的非均匀性对被加工工件面型精度和抛光垫修整有重要影响。基于直线摆动式抛光方式,研究了抛光过程中抛光垫与工件的相对运动,建立了抛光垫磨损模型,分析了抛光工艺参数对抛光垫磨损及均匀性的影响。研究结果表明,工件与抛光垫的转速比为1.11,正弦偏心直线摆动形式,摆动幅度系数为2,摆动频率系数在0.1~0.2之间,抛光垫表面磨损更均匀,并根据抛光垫表面磨损特性优化了抛光垫形状。优化的抛光垫具有更好的面型保持性,延长了修整间隔,为抛光工艺设计提供理论指导。
是否译文：否
发表时间：2017-05-15
合写作者：唐咏凯,花成旭,仝浩呈,朱永伟,左敦稳
通讯作者：李军