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个人信息Personal Information
副教授
招生学科专业：
机械工程 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
性别：男
学位：博士
所在单位：南京航空航天大学
办公地点：明故宫A17-519
电子邮箱：
招生学科专业：
机械工程 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
机械 -- 【招收硕士研究生】 -- 机电学院
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面向晶圆对准标记的聚焦评价方法、系统、设备及介质
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专利类型：发明
专利状态：授权专利
授权号：ZL 2024 1 0990631.6
是否职务专利：否
授权日期：2025-09-23