Affiliation of Author(s):材料科学与技术学院
Journal:功能材料
Key Words:黑硅;减反射;纳米结构;金属辅助化学法;银铜双原子;
Abstract:采用一步银铜双原子金属辅助化学腐蚀(MACE)法,于室温下在多晶硅表面制备纳米陷光结构,研究了腐蚀时间及银铜摩尔比对多晶硅表面反射率和形貌的影响。用分光光度计测量了多晶硅表面的反射率,用扫描电镜观察了表面形貌。发现银铜双原子MACE法所形成的结构比银单原子或铜单原子MACE法所形成的结构更加平整且具有更低的表面反射率室温下经过银铜两种金属原子协同催化腐蚀后,在银铜原子摩尔比低于1/10时多晶硅表面形成了纳米多孔状与槽状结构共存的复合结构,在银铜原子摩尔比高于1/5时多晶硅表面形成密集的纳米线结构。研究结果表明,孔状与槽状的复合结构具有良好的陷光效果,当银铜原子摩尔比为1/10,腐蚀时间为180s时,多晶硅的反射率达到最低,仅为6.23%。
Translation or Not:no
Date of Publication:2017-01-30
Co-author:郑超凡,蒲天,jz,Lily,tangquntao,吴斯泰,陈洁仪,金磊
Correspondence Author:shl
Researcher
Supervisor of Doctorate Candidates
Main positions:江苏省真空学会常务理事-江苏省光伏科学与工程协同创新中心副理事长-南京市可再生能源学会副理事长
Other Post:亚太材料科学院院士 (2013年10月)
Gender:Male
Alma Mater:中国科学院上海冶金研究所
Education Level:With Certificate of Graduation for Doctorate Study
Degree:Doctoral Degree in Science
School/Department:College of Material Science and Technology
Discipline:Material Science. Physics
Business Address:南京航空航天大学将军路校区西区材料学院大楼D10-B317
Contact Information:18913854729
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