基于放电概率检测的硅晶体电火花线切割加工伺服控制研究

Affiliation of Author(s):机电学院

Journal:电加工与模具

Key Words:硅晶体;电火花线切割加工;放电概率检测;伺服控制;

Abstract:针对往复走丝电火花线切割加工硅晶体时,无法准确判别其极间加工状态、伺服进给速度不能实时响应加工状态变化的问题,提出了一种基于放电概率检测的采样方法,设计并搭建了硅晶体电火花线切割加工伺服控制系统。通过工艺验证证明该伺服控制系统能显著提高硅晶体电火花线切割加工的表面质量、效率及形状精度。

Translation or Not:no

Date of Publication:2017-06-20

Co-author:贺笑笑,潘红伟,Qiu Mingbo,Luo Fuyuan

Correspondence Author:lzd

Date of Publication:2017-06-20