Affiliation of Author(s):理学院
Journal:物理学报
Key Words:Pb(Zr0.53Ti0.47)O3;柔性薄膜;耐高温;铁电性;
Abstract:随着柔性电子产品的迅速发展,具有优异铁电和压电性的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 (PZT)薄膜在柔性的非易失性存储器、传感器和制动器等器件中有广泛的应用前景.同时,由于外部环境越来越复杂,具有高温稳定特性的材料和器件受到越来越多的关注.本文在耐高温的二维层状氟晶云母衬底上,用脉冲激光沉积技术制备出外延的PZT薄膜,并通过机械剥离的方法,得到柔性的外延PZT薄膜.研究了Pt/PZT/SRO异质结的铁电和压电性及其高温特性,发现样品表现出优越的铁电性,剩余极化强度(Pr)高达65μC/cm2,在弯曲104次后其铁电性基本保持不变,且样品在275℃高温时仍然保持良好的铁电性.本文为柔性PZT薄膜在航空航天器件中的应用提供了实验基础.
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Date of Publication:2019-04-02
Co-author:Li Min,时鑫娜,张泽霖,jiyanda,fjy,yanghao
Correspondence Author:Li Min