Tool-based Micro Machining and Applications in MEMS
发布时间：2006-07-18 点击次数：
刘奎
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- 博士生导师 硕士生导师
- 电子邮箱：
- 所在单位：机电学院
- 职务：教授
- 学历：研究生(博士)毕业
- 办公地点：明故宫校区 A15-357
- 性别：男
- 联系方式：liukui@nuaa.edu.cn
- 学位：哲学博士学位
- 主要任职：Professor
- 毕业院校：National University of Singapore
- 所属院系：机电学院
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- 出版单位：Springer (Kluwer Academic Publishers)
- 出版地：Boston
- 简介：Leondes C.T. (ed) MEMS/NEMS Handbook: Techniques and Applications
- 著作类别：手册
- 出版社级别：国外（境外）出版社
- 学科门类：工学
- ISBN号：978-0-387-24520-1
- 是否译成外文：是
- 出版日期：2006-07-18
- 合写作者：F.Z. Fang, K. Liu, T.R. Kurfess and G.C. Lim
- 页面范围：第3卷63-125页