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Affiliation of Author(s):机电学院

Title of Paper:基于硝酸钠乙二醇溶液的铝微缝结构电解切割试验

Journal:电加工与模具

Key Words:铝箔;微细加工;电解加工;微缝结构;

Abstract:铝由于其低密度和良好的导电导热性而被广泛应用于各个领域,其中具有群缝结构的铝微器件在微机电领域有着重要的应用前景,但铝箔的微细加工较困难。针对铝微缝结构的加工,提出一种基于硝酸钠乙二醇溶液的电解切割方法,分析了铝在不同溶剂的硝酸钠溶液中极化曲线的基础上,对电压、频率、占空比三个参数进行了试验研究,最终在铝箔表面加工出了总长2 mm、平均缝宽275.25μm、缝宽标准差6.53μm的"L"形微缝结构,微缝形貌良好且表面无杂散腐蚀。

ISSN No.:1009-279X

Translation or Not:no

Date of Publication:2019-10-20

Co-author:朱嘉澄,高兵,qns

Correspondence Author:Fang Xiaolong