Effects of period number and sputtering time on optical properties of Si/Ge multilayer films deposited by magnetron sputtering
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- 所属单位：材料科学与技术学院
- 发表刊物：JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS
- 是否译文：否
- 发表时间：2018-03-16
- 通讯作者：刘劲松
- 发表时间：2018-03-16
